美國SRS PPR系列過程檢測系統

美國SRS PPR系列過程檢測系統

主要應用：真空在線檢測；高真空成份分析；MOCVD 等在線過程監控；10mTorr-10Torr 真空度內反應過程檢測等等

PPR過程監控系統是過程監測和診斷的真空檢測儀。兩種不同的進氣路徑提供給殘余氣體分析儀（RGA）：一路高壓進氣模式用來檢測基本真空，一路分壓模式用來檢測過程壓力。壓力減少路徑包含一個微小孔徑，其目的是使運行壓力工作在0.01，0.1，1或10Torr。 它使待測壓力環境滿足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。 兩臺泵為無油工作，不會污染您的操作系統。
PPR進氣接口鏈接到被檢測的過程檢測系統有幾種方法。 該系統包括RGA，旁通閥和三通，控制器，渦輪泵，隔膜泵，和Windows 軟件程序進行數據采集和控制。
該軟件可用于多種模式，包括模擬掃描，直方圖模式，壓力與時間模式。雙路法拉第杯和電子倍增器檢測器，電子倍增器提供更高的靈敏度和較高的掃描速度。PPR系統出廠時組裝校準，可便捷的連接到真空系統中。

主要應用：真空在線檢測；高真空成份分析；MOCVD 等在線過程監控；10mTorr-10Torr 真空度內反應過程檢測等等

主要性能

• 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr進口壓力

• 3 × 10-5 Torr-L/s流量

• 2秒的響應時間(0.1Torr)

• 100、200或300amu系統

• 現場可替換的電子培增管和燈絲

• 6個數量級動態范圍